sistema, un sistema di alimentazione del gas e un sistema di alimentazione a radiofrequenza. Principalmente

utilizzato per: crescita di film sottili metallici, film sottili ceramici, film sottili compositi,

grafene, ecc. È facile aggiungere funzioni e può espandere funzioni come

pulizia e incisione al plasma. Il sistema PECVD presenta i vantaggi dell'elevata pellicola

velocità di deposizione, buona uniformità, elevata consistenza e stabilità.

Tecnica dettagliata

parametri

Modello

TL1600-I

Potenza

5KW

Dimensioni del tubo（OD）(mm)

Tubo di corindone ad alta purezza: 60 mm (diametro del tubo)

Due candele del forno sono posizionate su ciascun lato. Il

il tappo del forno può bloccare la radiazione di calore al centro del tubo del forno

e deve essere posizionato nella posizione corretta nel forno prima del riscaldamento.

Dimensione

1120X490X855

tensione di alimentazione

220V

fase

monofase

termosifone

Barra di molibdeno in silicio modello 1800

Tipo di controllo della temperatura

Uso

Strumento di controllo della temperatura del programma Yudian (standard)

1.

Regolazione PID intelligente del controllo della temperatura del programma a 30 segmenti.

2.

Con la protezione da sovratemperatura, il circuito di riscaldamento del forno elettrico lo farà

essere automaticamente interrotto quando la temperatura è eccessiva o quando il

la coppia è rotta. ON, la spia ON sul pannello è spenta, la spia OFF è accesa,

e il forno elettrico è protetto in modo limitato).

3.

Con interfaccia di comunicazione 485 (di serie con software opzionale)

4.

Ha una funzione di protezione da interruzione di corrente, cioè quando il forno è

acceso dopo lo spegnimento, il programma non si avvia dal

temperatura iniziale, ma parte dalla temperatura del forno quando la potenza

è spento.

5.Il

il misuratore ha la funzione di autoregolazione della temperatura

(è necessario pagare un extra per la sostituzione di importati

strumenti, facoltativo)

Strumento FP93                             Strumento EUROTHERM                       Schermo touch

strumento

(Shimaden, Giappone)

Materiale da camera

1. Il materiale del focolare è di alta qualità

fibra policristallina di allumina.

2. La superficie del forno interno è rivestita

rivestimento di allumina ad alta temperatura importato da 1800 gradi, che può aumentare il

emissività e rendono il campo di temperatura più equilibrato.

Valvole e flange

precisione di controllo

display digitale dello schermo.

Adottare

Pompa per vuoto VRD16

VRD16

Termine tecnico

Specifica

VRD-16

Velocità di pompaggio m³/h（L/s）

potenza del motore (KW)

0,75 KW/0,55 KW

Collegamento ingresso/uscitaDN

KF25

viene utilizzato un regolatore di flusso, vedere il retro