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Sistema CVD da laboratorio con forno tubolare rotante a doppia zona 1500-1500C
Il sistema CVD è costituito da sistema di alimentazione del gas + forno tubolare + sistema del vuoto e la temperatura massima può raggiungere 1200 gradi, 1400 gradi, 1600 gradi e 1700 gradi. La zona di riscaldamento può essere una zona a temperatura singola, una zona a doppia temperatura, una zona a tre temperature, ecc. Il vuoto finale può raggiungere 10-3 Pa. Il sistema di alimentazione del gas può essere flussometro massico o flussometro a galleggiante per la regolazione del flusso. Il numero di canali di missaggio può essere 2 canali, 3 canali, 4 canali e 5 canali.
Parametri tecnici dettagliati
Modello | 1500-1500-I 1500-1500-II |
Potenza | 9KW 9KW |
Tubo | taglia |
diam | 60(OD) X1400 mm Dia 80(OD) X1400 mm |
La fornitura | voltaggio |
380V 380V | Fase |
bifase bifase | Tubo |
Tubo di corindone: AIO ad alta purezza | ceramica (compresa) 99,5% |
Il riscaldamento | elemento |
Primo | zona di temperatura: asta di carbone di silicio Seconda zona di temperatura: asta di carbonio di silicio |
Velocità di rotazione del tubo del forno | Con motore a velocità variabile continua, |
la velocità può essere regolata tra (1-25 RPM) | Potenza del motore 40 W Il forno può essere inclinato ad angolo 0-30 gradi Tipo di guida Cinghia dentata e ingranaggio Controllo modalità Strumento di controllo della temperatura del programma UAV |
(standard) | 1, controllo della temperatura del programma a 30 fasi regolazione intelligente del PID. |
2. Con protezione da sovratemperatura, l'elettrico | Il circuito di riscaldamento del forno si interrompe automaticamente quando la temperatura è alta |
sovratemperatura o rottura, (quando la temperatura del forno elettrico supera | 1520 gradi o la termocoppia è bruciata, il relè CA sul circuito principale |
verrà automaticamente disconnesso, il circuito principale è interrotto. Su, l'ON | la spia sul pannello è spenta, la spia OFF è accesa e la protezione limitata |
forno elettrico). | 3, con interfaccia di comunicazione 485 (standard |
al momento dell'acquisto di software) | 4, con funzione di protezione dallo spegnimento, quello |
è, quando l'alimentazione viene accesa dopo lo spegnimento, il programma | non parte dalla temperatura di partenza, ma dalla temperatura del forno |
aumenta dal momento dell'interruzione di corrente. | 5, il misuratore ha la funzione di autoregolazione della temperatura |
(è necessario pagare un extra per la sostituzione | di strumenti importati, facoltativo) |
strumento FP93 |
|
strumento EUROTHERM | Touch screen |
strumento | (Shimaden, Giappone) |
Materiale del forno
1. Allumina policristallina ad alta purezza di alta qualità
forno per la polimerizzazione delle fibre formato da filtrazione sotto vuoto.
2. Adottare la tecnologia giapponese per lo stampaggio.
Controllo
precisione
+/- 1 ℃
Grilletto
Sfasato
grilletto
Elettrico
apparecchio
Zhejiang
mento
Silicio
controllato
106/16ESEMIKRON
Il
temperatura massima nella prima e nella seconda zona di temperatura
1500 ℃
Valutato
temperatura nella prima e nella seconda zona di temperatura
1400 ℃
Il riscaldamento
Vota
≤20℃/Min(può essere modificato secondo necessità)
Consigliato
velocità di aumento della temperatura
≤10℃/min
Termocoppia
S digita il primo
zona di temperatura
S
digitare nella seconda regione di temperatura
Lunghezza
della sezione di riscaldamento nella prima e nella seconda zona di temperatura
300+300 mm 300+300 mm
Lunghezza della temperatura costante
450 mm 450 mm
Alimentazione d'aria a tre canali Gx-3 (mista
aria) sistema
1.1. Il gas esce dalla bombola, è
depressurizzato tramite un riduttore di pressione, passa attraverso il tubo in PTFE
all'ingresso del sistema di alimentazione del gas, quindi passa attraverso il flusso di massametro per controllare il flusso di gas, quindi passa attraverso il serbatoio di miscelazione del gas e
quindi entra nell'ingresso del forno. 1.2. 2) | Un manometro è collegato al serbatoio di miscelazione del gas e al manometro | il display disk e il controller del flussometro protonico sono installati sullo stesso | |
pannello. | 1.3. | ||
Ogni linea del gas ha una valvola di intercettazione ad alta pressione per sicurezza. | 1.4. | ||
Il percorso del gas adotta un misuratore di portata massica del gas ad alta precisione e l'interno del | il percorso del gas è interamente realizzato in tubo di acciaio inossidabile, che ha una buona corrosione | ||
resistenza. 1.5. | Tutti i giunti nella scatola sono collegati da puntali in acciaio inossidabile, che hanno | buona tenuta all'aria e resistenza alle alte pressioni. | |
2. Parametri tecnici: | Canale pneumatico: 3 | ||
Controllo del flusso di gas: | misuratore di portata massica. | ||
Dimensioni armadio: | 600X600X600mm | ||
Flussometro di massa | parametri tecnici: | ||
Interfaccia: Φ6 | Display: LED | ||
Temperatura ambiente di lavoro: 5~45°C | Regolatore di flusso: | ||
Parametri del regolatore di flusso di protoni Si prega di ricontrollare | Tubo in acciaio inossidabile: | ||
Φ6 esterno X Φ4 | Vuoto a pressione | ||
tabella: -0,1~0,15 MPa, 0,01 | MPa/divisione | ||
Valvola di arresto: Φ6 Controllo del flusso: PLC controllo intelligente | 功率 | 3. Flussometro di massa | |
电压 | parametri tecnici: | ||
转速 | Prodotto | ||
Nome: regolatore di flusso di massa | Prodotto | ||
Descrizione : Tipo normale, circuito analogico | 6 | ||
Prodotto | dettagli: circuito ordinario, analogico, guarnizione in gomma, shunt tubolare, non facile | ||
bloccare. Principale | indicatori: Intervallo: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (puoi scegliere l'intervallo arbitrariamente) | |
• | Precisione: ±1% F.S | ||
• | Lineare: 0,5% F.S | ||
• | Ripetibilità: ±0,2% F.S | ||
• | Tempo di risposta: 1S | ||
• | Caduta di pressione dell'aria: <0,01 MPa | ||
• | Pressione massima: 3 MP | • | |
Temperatura ambiente di lavoro: 5~45°C | • | ||
Segnali di ingresso e uscita: 0~+5.00V | • | ||
Potenza: +15V 50mA -15V 50mA | • |
Dimensioni: 158*30*110
•
Peso: 0,9 Kg