Sistema CVD da laboratorio con forno tubolare rotante a doppia zona 1500-1500C

Sales Sistema CVD da laboratorio con forno tubolare rotante a doppia zona 1500-1500C

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Dettagli del prodotto  

Sistema CVD da laboratorio con forno tubolare rotante a doppia zona 1500-1500C

Il sistema CVD è costituito da sistema di alimentazione del gas + forno tubolare + sistema del vuoto e la temperatura massima può raggiungere 1200 gradi, 1400 gradi, 1600 gradi e 1700 gradi. La zona di riscaldamento può essere una zona a temperatura singola, una zona a doppia temperatura, una zona a tre temperature, ecc. Il vuoto finale può raggiungere 10-3 Pa. Il sistema di alimentazione del gas può essere flussometro massico o flussometro a galleggiante per la regolazione del flusso. Il numero di canali di missaggio può essere 2 canali, 3 canali, 4 canali e 5 canali.


Parametri tecnici dettagliati

Modello

1500-1500-I                                                     1500-1500-II

Potenza

9KW                                                                   9KW

Tubo

taglia

diam

60(OD) X1400 mm                                     Dia 80(OD) X1400 mm

La fornitura

voltaggio

380V                                                                       380V

Fase

bifase                                                              bifase

Tubo

Tubo di corindone: AIO ad alta purezza

ceramica (compresa) 99,5%

Il riscaldamento

elemento

Primo

zona di temperatura: asta di carbone di silicio                     Seconda zona di temperatura: asta di carbonio di silicio

Velocità di rotazione del tubo del forno

Con motore a velocità variabile continua,

la velocità può essere regolata tra (1-25 RPM)

Potenza del motore

40 W

Il forno può essere inclinato ad angolo

0-30 gradi

Tipo di guida

Cinghia dentata e ingranaggio

Controllo

modalità

Strumento di controllo della temperatura del programma UAV

(standard)


1, controllo della temperatura del programma a 30 fasi

regolazione intelligente del PID.

2. Con protezione da sovratemperatura, l'elettrico

Il circuito di riscaldamento del forno si interrompe automaticamente quando la temperatura è alta

sovratemperatura o rottura, (quando la temperatura del forno elettrico supera

1520 gradi o la termocoppia è bruciata, il relè CA sul circuito principale

verrà automaticamente disconnesso, il circuito principale è interrotto. Su, l'ON

la spia sul pannello è spenta, la spia OFF è accesa e la protezione limitata

forno elettrico).

3, con interfaccia di comunicazione 485 (standard

al momento dell'acquisto di software)

4, con funzione di protezione dallo spegnimento, quello

è, quando l'alimentazione viene accesa dopo lo spegnimento, il programma

non parte dalla temperatura di partenza, ma dalla temperatura del forno

aumenta dal momento dell'interruzione di corrente.

5, il misuratore ha la funzione di autoregolazione della temperatura

(è necessario pagare un extra per la sostituzione

di strumenti importati, facoltativo)

strumento FP93

strumento EUROTHERM

Touch screen

strumento

(Shimaden, Giappone)



Materiale del forno

1. Allumina policristallina ad alta purezza di alta qualità

forno per la polimerizzazione delle fibre formato da filtrazione sotto vuoto.

2. Adottare la tecnologia giapponese per lo stampaggio.

Controllo

precisione

+/- 1 ℃

Grilletto

Sfasato

grilletto

Elettrico

apparecchio

Zhejiang

mento

Silicio

controllato

106/16ESEMIKRON

Il

temperatura massima nella prima e nella seconda zona di temperatura

1500 ℃

Valutato

temperatura nella prima e nella seconda zona di temperatura

1400 ℃

Il riscaldamento

Vota

≤20℃/Min(può essere modificato secondo necessità)

Consigliato

velocità di aumento della temperatura

≤10℃/min

Termocoppia

S digita il primo

zona di temperatura

S

digitare nella seconda regione di temperatura

Lunghezza

della sezione di riscaldamento nella prima e nella seconda zona di temperatura

300+300 mm                                             300+300 mm

Lunghezza della temperatura costante

450 mm                                                        450 mm

Alimentazione d'aria a tre canali Gx-3 (mista

aria) sistema

1.1. Il gas esce dalla bombola, è

depressurizzato tramite un riduttore di pressione, passa attraverso il tubo in PTFE

all'ingresso del sistema di alimentazione del gas, quindi passa attraverso il flusso di massa




metro per controllare il flusso di gas, quindi passa attraverso il serbatoio di miscelazione del gas e

quindi entra nell'ingresso del forno.

1.2.

2)


Un manometro è collegato al serbatoio di miscelazione del gas e al manometro

il display disk e il controller del flussometro protonico sono installati sullo stesso

pannello.

1.3.

Ogni linea del gas ha una valvola di intercettazione ad alta pressione per sicurezza.

1.4.

Il percorso del gas adotta un misuratore di portata massica del gas ad alta precisione e l'interno del

il percorso del gas è interamente realizzato in tubo di acciaio inossidabile, che ha una buona corrosione

resistenza.

1.5.

Tutti i giunti nella scatola sono collegati da puntali in acciaio inossidabile, che hanno

buona tenuta all'aria e resistenza alle alte pressioni.

2. Parametri tecnici:

Canale pneumatico: 3

Controllo del flusso di gas:

misuratore di portata massica.

Dimensioni armadio:

600X600X600mm

Flussometro di massa

parametri tecnici:

Interfaccia: Φ6

Display: LED

Temperatura ambiente di lavoro: 5~45°C

Regolatore di flusso:

Parametri del regolatore di flusso di protoni Si prega di ricontrollare

Tubo in acciaio inossidabile:

Φ6 esterno X Φ4

Vuoto a pressione

tabella: -0,1~0,15 MPa, 0,01

MPa/divisione

Valvola di arresto: Φ6

Controllo del flusso: PLC

controllo intelligente

功率

3. Flussometro di massa

电压

parametri tecnici:

转速

Prodotto

Nome: regolatore di flusso di massa

Prodotto

Descrizione : Tipo normale, circuito analogico

6

Prodotto

dettagli: circuito ordinario, analogico, guarnizione in gomma, shunt tubolare, non facile

bloccare.

Principale

indicatori: Intervallo: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (puoi scegliere l'intervallo arbitrariamente)

Precisione: ±1% F.S

Lineare: 0,5% F.S

Ripetibilità: ±0,2% F.S

Tempo di risposta: 1S

Caduta di pressione dell'aria: <0,01 MPa

Pressione massima: 3 MP

Temperatura ambiente di lavoro: 5~45°C

Segnali di ingresso e uscita: 0~+5.00V

Potenza: +15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Dimensioni: 158*30*110

Peso: 0,9 Kg



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